森美协尔 H系列 手动探针台
型 号：H系列
名 称：手动探针台
品 牌：森美协尔(SEMISHARE)
分 类：半导体装备 > 半导体质料测试 > 探针台
产品属性：主机
简 述：
SEMISHARE研发的卡盘移下手艺，，，，，，，可知足您对整片晶圆快速测试的需求，，，，，，，H系列探针台很是适合研发类实验室的一次性预算购置。。。。。。 。 。
申请服务
SEMISHARE研发的卡盘移下手艺，，，，，，，可知足您对整片晶圆快速测试的需求，，，，，，，H系列探针台很是适合研发类实验室的 一次性预算购置。。。。。。 。 。
产品亮点：H系列手动探针台
- 三段式可升降针座平台
- 便于定位，，，，，，，快速疏散样针
- 标配金相显微镜，，，，，，，抵达1μm以上的Pad测试
- 可搭载激光器举行FA失效剖析/激光切割
- 气控式卡盘移下手艺，，，，，，，可快速拉出卡盘
产品参数：H系列手动探针台
卡盘移动平台（标准设置）
| XY行程规模 | 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm |
| XY最佳行程 | 300mm x 300 mm（知足大规模行程测试） |
| 移动精度/区分率 | < 1.0 ?m (~1 mm/rev) |
| 平面性 | ±5?m |
| theta行程 | 粗调：360° |
| 微调精度：± 8.0° | |
| 区分率：7.5 x 10-3 gradient | |
| 运动控制 | 气控+大手柄控制 |
| Z轴快速升降 | 快速升降：3mm |
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2?m |
手动显微镜平台
| 移动规模 | 50 mm x 50 mm |
| 移动区分率 | ≤2?m |
| 显微镜Z升降 | 25mm-100mm *取决于显微镜设置 |
| 气动升降50mm | |
| 运动控制 | 自力控制的X和Y旋钮 |
针座平台
| 质料 | 钢镀镍 |
| 最大针座数目 | 8 DC and 4 RF(取于针座设置) |
| 卡盘到针座平台下底面最佳距离 | 8mm（卡盘上外貌与针座平台下外貌） |
| Z-height运动规模 | Max.0-40mm (取于卡盘设置) |
| 针座平台升降 | 3段：疏散(300?m)，，，，，，，卡盘装载(2-5mm),不中止升降（0-40mm) |
| 接触重复性 | < ±1?m |
| RF 针座牢靠 | 磁力吸附/真空吸附 |
| DC 针座牢靠 | 磁力吸附/真空吸附 |
（*规格和设计若有更改，，，，，，，恕不另行通知。。。。。。 。 。）
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