森美协尔 CG系列 真空崎岖温探针台
型 号：CG系列
名 称：真空崎岖温探针台
品 牌：森美协尔(SEMISHARE)
分 类：半导体装备 > 半导体质料测试 > 探针台
产品属性：主机
简 述：
CG系列探针台可提供在超高真空与崎岖温转换的情形下，，，，，， ， 实现对器件及质料表征的IV/CV特征测试、射频测试、光电 测试、电磁输运特征及霍尔效应等测试 。。。。。 。。。 通过设置真空腔、防辐射屏等结构，，，，，， ，能够有用的营造一个集 成高温、低温、真空等测试情形，，，，，， ，能够为生产出来的半导体器件提供稳固的测试情形 。。。。。 。。。
申请服务
CG系列探针台可提供在超高真空与崎岖温转换的情形下，，，，，， ， 实现对器件及质料表征的IV/CV特征测试、射频测试、光电 测试、电磁输运特征及霍尔效应等测试 。。。。。 。。。 通过设置真空腔、防辐射屏等结构，，，，，， ，能够有用的营造一个集 成高温、低温、真空等测试情形，，，，，， ，能够为生产出来的半导体器件提供稳固的测试情形 。。。。。 。。。
产品亮点：CG系列真空崎岖温探针台
- 可支持4.2K-450K温度
- 防辐射屏设计，，，，，， ，提高样品温度匀称与准确性
- 探针热沉设计，，，，，， ，包管精准落针
- 可升级加载磁场
- 无邪且可扩展的测试应用设置
- 自动冷媒流量控制，，，，，， ，自动精准控温
产品参数：CG系列真空崎岖温探针台
| 型号 | SCG-O-2 | SCG-O-4 | SCG-C-2 | |
| 形状 | 900*900*530mm | 1100*1100*530mm | 1100*1100*1030mm | |
| 重量 | 约170KG | 约190KG | 约290KG | |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
| 样品台 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 样品牢靠方法 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | |||
| 样品台移动 | 牢靠的样品台 | |||
| 真空度 | 10^-10torr最高真空 | |||
| 光学特征 | 显微镜行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
| 放大倍数 | 变焦：7:1区分率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X） | |||
| 真空腔视察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 温控 规格 |
制冷方法 | 液氮/液氦 | 制冷压缩机 | |
| 控制方法 | 开循环手动/自动冷媒流量控制 | 闭循环自动控制 | ||
| 控温规模 | 77K~450K | 4.2K~450K | ||
| 控温区分率 | 0.001K | |||
| 温度稳固性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
| 373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
| 823K ±0.2K(可 。。。。。 。。。 973K ±1.0K(可 。。。。。 。。。 | ||||
| 常温到8K冷却时间 | 90min | 150min | ||
| 8K到常温升温时间 | 90min | 90min | ||
| 常温最先的升温时间 | 100℃ 150℃ 200℃ | |||
| 30min 50min 80min | ||||
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | |||
| 传感器 | 硅二极管 | |||
| 传感器数目 | 样品台，，，，，， ，防辐射屏，，，，，， ，探针臂各一个 | |||
| 功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
| 点针规格 | 探针数目 | 2个/4个/6个 | ||
| 探针调理 | 真空波纹管外部调理，，，，，， ，手动控制 | |||
| 点针精度 | 2微米 | |||
| X-Y-Z行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
| 泄电精度 | 10pA/100fA | |||
| 接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | |||
| 可选附件 | 防震桌 | |||
| 多级压缩制冷机 | ||||
| 机械泵/分子泵组/离子泵 | ||||
| 射频部件 | ||||
| Chuck运动装置 | ||||
| 电磁铁系统/超导磁铁系统 | ||||
| 1Mpa正压系统升级 | ||||
| 超高温升级选件 | ||||
| 超高真空升级选件 | ||||
| 客户特殊定制 | ||||
（*规格和设计若有更改，，，，，， ，恕不另行通知 。。。。。 。。。）
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