森美协尔 C系列 手动探针台
型 号：C系列
名 称：手动探针台
品 牌：森美协尔(SEMISHARE)
分 类：半导体装备 > 半导体质料测试 > 探针台
产品属性：主机
简 述：
C系列探针台通过增添屏障腔体的结构可实现无电磁滋扰 (EMI) /射频滋扰 (RFI)和不透光的丈量情形，，，，，，，可在非真空条件下实现崎岖温测试需求。。。。。
申请服务
C系列探针台通过增添屏障腔体的结构可实现无电磁滋扰 (EMI) /射频滋扰 (RFI)和不透光的丈量情形，，，，，，，可在非真空条件下实现崎岖温测试需求。。。。。
产品亮点：C系列手动探针台
- 气控式卡盘移动平台
- 可升降式针座平台
- 先进的3倍率成像手艺，，，，，，，显著提升测试效率
- 屏障腔体结构设计
产品参数：C系列手动探针台
卡盘XY移动平台（标准设置）
| XY行程规模 | 300 mm x300 mm (12"x12") |
| XY最佳行程 | 300mm x 300 mm（知足大规模行程测试） |
| 移动精度/区分率 | < 1.0 ?m (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
| 平面性 | ±5?m |
| theta行程 | 粗调：360° |
| 微调精度：± 8.0° (optional)* | |
| 区分率：7.5 x 10-3 gradient | |
| 运动控制 | 气控+无牙螺母控制 |
| Z轴升降 | 快速升降：3mm |
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2?m |
针座平台
| 质料 | 钢镀镍 |
| 最大针座数目 | 8 DC and 4 RF(取于针座设置) |
| 卡盘到针座平台下底面最佳距离 | |
| Z-height运动规模 | Max.0-40mm (取于卡盘设置) |
| Separation lift | 3段：疏散(300?m)，，，，，，，Load装载(5mm),不中止升降（0-40mm) |
| 接触重复性 | < ±1?m (0.08 mils) |
| RF 针座牢靠 | 磁力吸附/真空吸附 |
| DC 针座牢靠 | 磁力吸附/真空吸附 |
（*规格和设计若有更改，，，，，，，恕不另行通知。。。。。）
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