Hitachi FT9500系列/FT9500X系列 高性能X射线荧光镀层厚度丈量仪
型 号：FT9500系列/FT9500X系列
名 称：高性能X射线荧光镀层厚度丈量仪
品 牌：日立高新(Hitachi)
分 类：质料与结构剖析 > X射线系列
产品属性：主机
产品状态：停产
简 述：
搭载了新型X射线聚光系统（毛细管），，，，，，可发射现实照射直径为30um的高亮度X射线。。。。。。。浚？？？？？？啥砸偶堋⑴连器、无邪基板、微型薄膜举行检测。。。。。。。
申请服务
X射线爆发系统是X射线聚光系统(聚光导管)与X射线管相团结，，，，，，从而在FT9500上爆发光斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。。。。。。。
在FT9500X中，，，，，，我们开发了新型X射线聚光导管(单毛细管)，，，，，，实现了FT较小的现实照射约为Φ30μm的高强度X光束照射。。。。。。。
为此，，，，，，可以对以往由于X射线照射强度缺乏而导致无法获得理想精度的导线架、接插件、柔性线路板等细小零件及极薄镀层举行丈量。。。。。。。
高性能X射线荧光镀层厚度丈量仪 FT9500系列/FT9500X系列 专长
- X射线爆发系统接纳了聚光导管
由于接纳了X射线聚光导管方法，，，，，，以是可以获得以往10倍以上的X射线强度，，，，，，从而可以提高细小样品的膜厚丈量及有害物质丈量的精度。。。。。。。 - 不需液氮的半导体检测器
在举行薄膜丈量时，，，，，，高区分率的检测器是必不可缺的。。。。。。。FT9500的检测器不但可以抵达高区分率并且可以实现高计数率。。。。。。。同时，，，，，，由于使用了电子冷却方法，，，，，，以是无需液氮。。。。。。。 - Φ30μm高强度X光束照射
FT9500X作为聚光导管方法的镀层丈量仪，，，，，，可举行最高达Φ30μm高强度X光束照射。。。。。。。另外，，，，，，与FT9500相比，，，，，，仅相当已往约10%的照射面积即可举行一律精度的丈量。。。。。。。 - 多镀层的厚度丈量
FT9500可以同时对纳米品级的电子质料上多镀层的各层厚度举行丈量，，，，，，最多五层镀层及组成。。。。。。。
高性能X射线荧光镀层厚度丈量仪 FT9500系列/FT9500X系列 规格
| ? | FT9500系列 | FT9500X系列 |
| 测 量 元 素 | 原子序数13 (Al)～83 (Bi) | |
| X 射 线 管 | 管电压：50kV 管电流：1mA | |
| 检 测 器 | 半导体检测器(无液化氮) | |
| X 射 线 聚 光 | 聚光导管方法 | |
| X射线照射尺寸 | Φ0.1mm | Φ30μm |
| 样 品 观 察 | CCD摄像头(带变焦功效) | |
| 对 焦 | 激光对焦 | |
| 一次滤波器(电动切换) | 选购项 | 有 |
| X-ray Station | 电脑 (OS: Windows) 19英寸液晶显示屏 |
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| 打 印 机 | 喷墨打印机(选购项) | |
| 镀层厚度丈量软件 | 薄膜FP法(最大5层、各层10种元素) 标准曲线法(单层、双层、合金镀层因素) | |
| 定量剖析软件 | 块体FP法、块体标准曲线法 | 无 |
| 测 量 功 能 | 自动丈量、中心搜索、图像处置惩罚 | |
| 修 正 功 能 | 底材修正、已知样品修正 | |
| 定 性 功 能 | KLM标记功效、较量显示 | |
| 统计处置惩罚功效 | 配备MS-EXCEL? | |
| 报告生乐成能 | 配备MS-WORD? | |
| 安 全 功 能 | 样品门联锁 防冒犯功效 |
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| 使 用 电 源 | 100V/15A 带地线的3孔插座 | |
选购项
- 电镀液剖析（块体标准曲线）
- 能谱匹配软件（质料区分）
- 扫描（强度面剖析多点体现）软件
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