一、产品简介

SuperView WT3000系列白光干预共聚焦轮廓仪是一款用于对种种细密器件及质料外貌举行亚纳米级丈量的检测仪器。。。。。。。它集成了白光干预仪和共聚焦显微镜两种高精度3D丈量仪器的性能特点于一身，，，，，，，，能够对器件外貌举行非接触式扫描并建设外貌3D图像。。。。。。。当丈量超平滑和透明的外貌形貌时，，，，，，，，可使用白光干预模式获得高精度无失真的图像并举行粗糙度等参数的剖析；；；；；；；；当丈量有尖锐角度的粗糙外貌特征时，，，，，，，，使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构，，，，，，，，通过系统软件对器件外貌3D图像举行数据处置惩罚与剖析，，，，，，，，并获取反应器件外貌质量的2D、3D参数，，，，，，，，从而实现器件外貌形貌3D丈量的光学检测仪器。。。。。。。

SuperView WT3000系列白光干预共聚焦轮廓仪可普遍应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其细密配件、光学加工、微纳质料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超细密加工行业中。。。。。。？？？？？？？刹庵种执映交酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎实奈锾逋饷玻，，，，，，，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，，，，，，，，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大海内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。。。。。。。

二、产品功效

1)    样件丈量能力：白光干预模式可在简单扫描模式下实现从超平滑到粗糙、镜面到全透明或玄色材质等所有类型样件外貌的丈量，，，，，，，，可丈量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度；；；；；；；；共聚焦模式尖具备锐角度丈量能力，，，，，，，，可丈量倾角靠近90°的微观形貌。。。。。。。

2)    单区域自动丈量：单片平面样品或批量样品切换丈量点位时，，，，，，，，可一键实现自动对焦、扫描等功效。。。。。。。

3)    多区域自动丈量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域丈量点位，，，，，，，，一键实现自动条纹搜索、扫描等功效。。。。。。。

4)    自动拼接丈量；；；；；；；；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接丈量功效，，，，，，，，配合影像导航功效，，，，，，，，可自界说丈量区域，，，，，，，，支持数千张图像的无缝拼接丈量。。。。。。。

5)    编程丈量功效：支持丈量和剖析同界面操作的软件？？？？？？？椋，，，，，，，可预先设置数据处置惩罚和剖析办法，，，，，，，，团结自动单丈量功效，，，，，，，，实现一键丈量。。。。。。。

6)    数据处置惩罚功效：提供位置调解、去噪、滤波、提取四大？？？？？？？榈氖荽χ贸头９π。。。。。。。

7)    数据剖析功效：提供粗糙度剖析、几何轮廓剖析、结构剖析、频率剖析、功效剖析等五大剖析功效。。。。。。。

8)    批量剖析功效：可凭证需求参数定制数据处置惩罚和剖析模板，，，，，，，，针对同类型参数实现一键批量剖析。。。。。。。

9)    数据报表导出：支持word、excel、pdf名堂的数据报表导出功效，，，，，，，，支持图像、数值效果的导出。。。。。。。

10)故障排查功效：白光干预模式中，，，，，，，，设置诊断？？？？？？？椋，，，，，，，可生涯扫描历程中的干预条纹图像；；；；；；；；

11)便捷操作功效：装备配备使用杆，，，，，，，，支持使用杆举行所有位置轴的操作及速率调理、光源亮度调理、急停等。。。。。。。

12)情形噪声评价：具备0.1nm区分率的情形噪声评价功效，，，，，，，，定量检测出仪器受到外界情形滋扰的噪声振幅和频率，，，，，，，，为装备调试和故障排查提供定量依据。。。。。。。

13)气浮隔振功效：接纳气浮式隔振底座，，，，，，，，可有用隔离地面传导的振动噪声，，，，，，，，确保丈量数据的高精度。。。。。。。

14)光源清静功效：光源设置无人值守下的自动熄灯功效，，，，，，，，当检测到鼠标轨迹长时间未变换后会自主降低熄灭光源，，，，，，，，避免光源高亮过热损坏，，，，，，，，并有用延伸光源使用寿命。。。。。。。

15)镜头清静功效：双重防撞；；；；；；；；ぃ，，，，，，，软件ZSTOP防撞；；；；；；；；ぃ，，，，，，，设置后即以目今位置为位移下限位，，，，，，，，不再下移且伴有报警声；；；；；；；；装备配备压力传感器，，，，，，，，并在镜头处举行了弹簧结构设计，，，，，，，，确保当镜头碰撞后弹性回缩，，，，，，，，进入急停状态，，，，，，，，大幅减小碰撞攻击力，，，，，，，，有用；；；；；；；；ぞ低泛蜕柚幔，，，，，，，消除人为操作的清静危害。。。。。。。

三、应用领域

对州产品、部件和质料外貌的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、外貌缺陷、磨损情形、侵蚀情形、孔隙间隙、台阶高度、加工情形等外貌形貌特征举行丈量和剖析。。。。。。。

半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）	光学元器件 曲率&轮廓尺寸&粗糙度
（超细密）加工.轮廓尺寸&角度	外貌工程（摩擦学）.轮廓面积&体积
3C电子（玻璃屏） 粗糙度	光学膜片质料微观结构

四、样品测试报告：

光学玻璃镜片样品测试报告	金属片外貌摩擦磨损样品测试报告
石英砂样品测试报告	手机配件样品测试报告
超平滑凹面样品测试报告	薄膜粗糙度测试报告
微光学器件样品测试报告	微纳结构样品测试报告
微透镜阵列样品测试报告

恳请注重：因市场生长和产品开发的需要，，，，，，，，本产品资料中有关内容可能会凭证现真相形随时更新或修改，，，，，，，，恕不另行通知，，，，，，，，未便之处敬请体贴。。。。。。。