一、产品形貌

SuperView W1光学3D外貌轮廓仪是一款用于对种种细密器件及质料外貌举行亚纳米级丈量的检测仪器。。。。。。。。它是以白光干预手艺为原理、团结细密Z向扫描模？？？？？？？椤3D 建模算法等对器件外貌举行非接触式扫描并建设外貌3D图像，，，，，，通过系统软件对器件外貌3D图像举行数据处置惩罚与剖析，，，，，，并获取反应器件外貌质量的2D、3D参数，，，，，，从而实现器件外貌形貌3D丈量的光学检测仪器。。。。。。。。

SuperView W1光学3D外貌轮廓仪可普遍应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其细密配件、光学加工、微纳质料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超细密加工行业。。。。。。。。？？？？？？？刹庵种执映交酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎实奈锾逋饷玻，，，，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，，，，，，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大海内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。。。。。。。。

二、产品功效

1）装备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸丈量功效；；；；；；；；

2）丈量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功效；；；；；；；；

3）丈量中提供自动拼接丈量、定位自动多区域丈量功效；；；；；；；；

4）剖析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模？？？？？？？榈氖荽χ贸头９π；；；；；；；；

5）剖析中提供粗糙度剖析、几何轮廓剖析、结构剖析、频率剖析、功效剖析等五大剖析功效；；；；；；；；

6）剖析中同时提供一键剖析和多文件剖析等辅助剖析功效。。。。。。。。

三、应用领域

对州产品、部件和质料外貌的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、外貌缺陷、磨损情形、侵蚀情形、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情形、加工情形等外貌形貌特征举行丈量和剖析。。。。。。。。

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

超细密加工.光学透镜	细密加工.发念头叶片
细密加工.金字塔型金刚石磁头	标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度

四、性能特点

1. 高精度、高重复性
   1）接纳光学干预手艺、细密Z向扫描模？？？？？？？楹陀乓斓3D重修算法组成丈量系统，，，，，，包管丈量精度高；；；；；；；；
   2）奇异的隔振系统，，，，，，能够有用隔离频率2Hz以上绝大部分振动，，，，，，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，，，，，，包管仪器在大部分的生产车间情形中能稳固使用，，，，，，获得极高的丈量重复性。。。。。。。。
2. 情形噪声检测功效
   具备0.1nm区分率的情形噪声检测模？？？？？？？椋，，，，能够定量评估出外界情形对仪器扫描轴的震惊滋扰，，，，，，在装备调试、一样平常监测、故障排查中能够提供定量的情形噪声数据作为支持。。。。。。。。
3. 细密使用手柄
   集成X、Y、Z三个偏向位移调解功效的使用手柄，，，，，，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等丈量前事情。。。。。。。。
4. 双重防撞；；；；；；；；げ椒
   在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位举行防撞；；；；；；；；ね猓，，，，另在Z轴上设计有机械电子传感器，，，，，，当镜头触遇到样品外貌时，，，，，，仪器自动进入紧迫阻止状态，，，，，，更好的；；；；；；；；ひ瞧鳎，，，，降低人为操作危害。。。。。。。。
5. 双通道气浮隔振系统
   既可以接入客户现场的稳固气源也可以接入标配静音空压机，，，，，，在无外接气源的条件下也可稳固事情。。。。。。。。

五、应用案例：

复合质料丈量	超平滑陶瓷样件丈量
水机叶片磨损检测	超疏水外貌形貌检测

六、样品测试报告：

光学玻璃镜片样品测试报告	金属片外貌摩擦磨损样品测试报告
石英砂样品测试报告	手机配件样品测试报告
超平滑凹面样品测试报告	薄膜粗糙度测试报告
微光学器件样品测试报告	微纳结构样品测试报告
微透镜阵列样品测试报告

恳请注重：因市场生长和产品开发的需要，，，，，，本产品资料中有关内容可能会凭证现真相形随时更新或修改，，，，，，恕不另行通知，，，，，，未便之处敬请体贴。。。。。。。。