Nano Step系列台阶仪是一款超细密接触式微观轮廓丈量仪器， ，，，，，， ，其主要用于台阶高、膜层厚度、外貌粗糙度等微观形貌参数的丈量。 。。。。。 。丈量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超细密位移台移动样品时扫描其外貌， ，，，，，， ，测针的笔直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号， ，，，，，， ，数据点云信号在剖析软件中泛起并使用差别的剖析工具来获取响应的台阶高或粗糙度等有关外貌质量的数据。 。。。。。 。
申请服务
一、产品简介
Nano Step系列台阶仪（后续简称NS系列台阶仪）是一款超细密接触式微观轮廓丈量仪器， ，，，，，， ，其主要用于台阶高、膜层厚度、外貌粗糙度等微观形貌参数的丈量。 。。。。。 。丈量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超细密位移台移动样品时扫描其外貌， ，，，，，， ，测针的笔直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号， ，，，，，， ，数据点云信号在剖析软件中泛起并使用差别的剖析工具来获取响应的台阶高或粗糙度等有关外貌质量的数据。 。。。。。 。
NS系列台阶仪接纳磷七精度的传感器， ，，，，，， ，具备超微力调理的能力和亚埃级的区分率， ，，，，，， ，同时， ，，，，，， ，基于超平滑光学平晶， ，，，，，， ，其集成了超低噪声信号收罗、超细腻运动控制、标定算法等焦点手艺， ，，，，，， ，使得仪用具备超高的丈量精度和丈量重复性。 。。。。。 。
NS系列台阶仪具备极强的应用场景顺应性， ，，，，，， ，其对被测样品的反射率特征、质料种类及硬度等均无特殊要求， ，，，，，， ，能够普遍应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳质料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位， ，，，，，， ，其对外貌微观形貌参数的准确表征， ，，，，，， ，关于相关质料的评定、性能的剖析与加工工艺的改善具有主要意义。 。。。。。 。
二、产品功效
1. 参数丈量功效
1） 台阶高度：能够丈量纳米到330μm或1050μm的台阶高度， ，，，，，， ，可以准确丈量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺时代沉积或去除的质料。 。。。。。 。
2） 粗糙度与波纹度：能够丈量样品的粗糙度和波纹度， ，，，，，， ，剖析软件通过盘算扫描出的微观轮廓曲线， ，，，，，， ，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。 。。。。。 。
3） 应力丈量：可丈量多种质料的外貌应力。 。。。。。 。
2. 丈量模式与剖析功效
1） 单区域丈量模式：完成Focus后凭证影像导航图设置扫描起点和扫描长度， ，，，，，， ，即可最先丈量。 。。。。。 。
2） 多区域丈量模式：完成Focus后， ，，，，，， ，凭证影像导航图完成单区域扫描路径设置， ，，，，，， ，可凭证横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所组成的多区域丈量模式， ，，，，，， ，一键即可完成所有扫描路径的自动丈量。 。。。。。 。
3） 3D丈量模式：完成Focus后凭证影像导航图完成单区域扫描路径设置， ，，，，，， ，并可凭证所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数目完成整个扫描面区域的设置， ，，，，，， ，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重修。 。。。。。 。
4） SPC统计剖析：支持对差别种类被测件举行多种指标参数的剖析， ，，，，，， ，针对批量样品的丈量数据提供SPC图表以统计数据的转变趋势。 。。。。。 。
3. 快速换针功效
接纳了磁吸式测针， ，，，，，， ，当需要执行换针操作时， ，，，，，， ，可现场快速替换扫描测针， ，，，，，， ，并凭证软件中的标定模？？？？榫傩锌焖俦甓， ，，，，，， ，确保唬 ； ；；；；；徽牒蟮木群椭馗葱， ，，，，，， ，镌汰维护懊恼。 。。。。。 。
磁吸针实物外观图
4. 双导航光学影像功效
在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机， ，，，，，， ，在正视导航影像系统中可准确设置扫描路径， ，，，，，， ，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。 。。。。。 。
三、典范应用
半导体应用
- 沉积薄膜的台阶高度
- 抗蚀剂（软膜质料）的台阶高度
- 蚀刻速率测定
- 化学机械抛光（侵蚀、凹陷、弯曲）
大型基板应用
- 印刷电路板（突起、台阶高度）
- 窗口涂层
- 晶片掩模
- 晶片卡盘涂料
- 抛光板
玻璃基板及显示器应用
- AMOLED
- 液晶屏研发的台阶步级高度丈量
- 触控面板薄膜厚度丈量
- 太阳能涂层薄膜丈量
柔性电子器件薄膜应用
- 有机光电探测器
- 印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
- 触摸屏铜迹线
恳请注重：因市场生长和产品开发的需要， ，，，，，， ，本产品资料中有关内容可能会凭证现真相形随时更新或修改， ，，，，，， ，恕不另行通知， ，，，，，， ，未便之处敬请体贴。 。。。。。 。
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